三井化學成為全球首家EUV防護膜製造商

星空体育xk資訊：5月28日，三井化學宣布，將基於(yu) ASML的設計和技術，在岩國-大竹製鐵工廠進行EUV防護膜的商業(ye) 化生產(chan) ，成為(wei) 世界上第一家開始商業(ye) 化生產(chan) 的防護膜製造商。

為(wei) 了滿足EUV防護膜和其他與(yu) ICT相關(guan) 的產(chan) 品的需求，以滿足客戶對技術創新（例如不斷完善的半導體(ti) ）的需求，三井化學的目標是為(wei) 改善人們(men) 的生活和社會(hui) 做出廣泛的貢獻。

5G電信的最新趨勢要求在智能手機中使用快速處理器。用於(yu) 這些高級處理器的芯片現在必須具有7納米或更小的線寬-真正推動了EUV光刻技術的普及，該技術可提供超短波長。

EUV防護膜可防止光罩受到灰塵汙染，因此有助於(yu) 在此類光刻工藝中提高生產(chan) 率。

ASML是全球最大的半導體(ti) 光刻設備供應商，是唯一成功開發EUV光刻設備和EUV防護膜的製造商。

自1984年首次推出用於(yu) 光刻工藝的防護膜以來，三井化學一直在努力提高防護膜的質量，以適應半導體(ti) 電路線寬度小型化的進步。三井化學在這裏的工作表明，它積累了與(yu) 圍堵管理等相關(guan) 的大量生產(chan) 專(zhuan) 業(ye) 知識-現在已將其用於(yu) 生產(chan) EUV防護膜。

展望未來，三井化學將通過與(yu) ASML合作，對EUV防護膜技術進行改進和創新，以跟上EUV光刻設備的發展。